簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Patterning".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="整合電腦積層拋光墊形貌模型"


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    軟式複合墊3D模型對奈米雙晶銅圖案化晶圓矽導微孔化學機械拋光分析研究
    • 機械工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 蕭凱翔 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究旨透過整合電腦積層拋光墊形貌模型(Computed Additive Pad Topography, CAPT)建立軟式複合墊3D模型,並藉由3D模型模擬拋光墊Asperity特徵參數,參數包…
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    • 全文公開日期 2026/08/14 (校內網路)
    • 全文公開日期 2026/08/14 (校外網路)
    • 全文公開日期 2026/08/14 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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